国机集团所属沈阳仪表院承担的沈阳市*产业发展计划项目“高性能硅电容压力传感器”近日顺利通过验收。

该项目采用*的微电子和微机械加工相结合的工艺技术，在硅电容传感器设计、制造工艺技术、传感器封装结构等方面具有创新性，解决了硅电容传感器研制的工艺技术难题，开发研制出*拥有自主知识产权的新型高性能硅电容差压传感器产品，产品精度优于0.075%FS，技术水平达到国内、*。

项目建成了年生产能力一万台的硅电容差压传感器生产线，实现了产品的系列化生产，并实现智能试验变送器产品核心传感器的国产化配套，打破了国外的技术封锁，*。

同时，作为上游核心器件，该项研究带动了传感器、变送器及相关仪表产业的发展，解决了有表无芯的问题，有效地支撑了装备制造产业链建设。