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橫河电机Yokogawa台式微量氧氧气分析仪OX400

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产品型号OX400

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更新时间：2017-07-09 10:31:24浏览次数：354次

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上海晖盈实业有限公司

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产品简介

OX400可用于控制和监视各种半导体应用，并控制环境，空气泄漏入惰性气体及其他过程。
用于半导体扩散炉和烘干炉，以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制，用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度，以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量，测量氧气浓度。

详细介绍

主要技术参数：

测量对象	惰性气体中的氧气浓度（易燃性气体、腐蚀性气体或液体（包括水蒸气）除外）
测量系统	氧化锆系统
采样方法	泵式、抽提式等
样气条件	流速：200±25ml/min（仅适用于传感器）温度：0～50℃（无结露）湿度：无结露压力：0～300PaG zui大容许压力：30kPaG
测量量程	0～10ppm O2至0～100vol% O2
输出量程	自动：	0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，0～*（默认）
	固定：	设为0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，或0～*
	部分：	可设置下限值或上限值
模拟输出	2路输出，第一路：4～20mA DC（zui大负载电阻550Ω），第二路：可选为0～1，0～5，0～10V DC（负载电阻：10kΩ或更大）
接点输出	报警输出2点：			错误接点，O2浓度报警接点
	量程范围输出1点：			接点输出
	多选择器（选配件）：			流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出
接点输入	1点：采样气体吸入泵的远程ON/OFF
自诊断	故障：	传感器错误，加热器温度错误，温度传感器断开，设备温度错误，CPU错误，FAN停止
	报警：	加热器不稳定，传感器错误，电动势异常，非对称电压错误错误，标定错误，传感器电阻错误，O2浓度上/下限，超限
串口通信	RS-232，38400 bps
标定方法	（1）3点：10ppm，1000ppm，空气，（2）2点：可设定为零点气和量程气标定，（3）1点，（4）空气标定
暖机时间	20分以内
电源	100～120V AC/220～240V AC，50/60Hz
功耗	100～120V AC，200VA zui大，220～240V AC，400 VA zui大
尺寸	213 （W） x 132 （H） x 约375 （D） mm
质量	约5kg
管线连接	气体入口：Rc1/4或1/4NPT内螺纹气体出口：Rc1/4或1/4NPT内螺纹
环境条件	安装条件：		室内，盘装或壁装，非易燃区域
	环境温度：		0～40℃，无结露
	环境湿度：		5～85%RH
	储存温度：		-5～50℃
重复性	±1%F.S.（10，100，1000 ppm，1%，10%或*）
线性	±2%F.S. ±3%F.S.（0～100ppm或更低）
响应时间	90%响应 10秒内（0～1%或更高） 30秒内（小于0～1%）
漂移	±2%F.S./周