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气浮平台的工作原理

来源:北京瑞邦精控科技有限公司   2022年07月30日 10:44   22

气浮平台有气浮直线平台与气浮(旋转)转台两类。气浮平台的核心原理是由空气轴承结合电控元件构成的精密位移平台,基于空气轴承的原理,让负载板浮在气浮导轨或气浮轴承上,实现无摩擦、无振动的平滑运动。

气浮平台的气浮直线导轨常见的形式有:

1.     重力平衡式气浮导轨;

2.     闭式气浮导轨;

3.     永磁预载式气浮导轨;

4.     真空吸附式气浮导轨。

常见的气浮孔结构为:

1.     小孔节流结构;

2.     多孔质结构。

气浮平台的高直线度和平面度依赖于气浮导轨,材质分为铝合金、大理石及碳化硅陶瓷等,研究其高压气膜的压力分布、气源压力、节流器、均压槽深度等,找到了合理气膜刚度时的参数区间有着出色的性能精度,行程300mm直线度和平面度的误差在1μm以内,气浮平台的承载能力也非常的出色,在市场上已经逐渐得到大家的认可。


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