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气浮平台的构成

来源:北京瑞邦精控科技有限公司   2022年07月30日 10:45   21

气浮平台的精度是精密机械的核心。我公司为微光微刻技术、CNC加工、生物技术、IC封装设备、纳米表面形貌测量等领域提供了一种能实现精确定位和精确移动的运动平台。

气浮平台是光刻机贴片机等电子制造设备的主要工作机构。伴随着电子产品的生产,产品的体积越来越小,对精度的要求越来越高。所以,高精度、高稳定性的移动平台对于电子设备的发展有着举足轻重的作用。另外,微电子系统制造和测试、光学测量加工、超精密加工、航空发动机测量制造等领域都离不开精密定位技术。因为空气轴承精度比滚动轴承高两个数量级,且精度高,摩擦系数小,工作环境极限,采用气浮台方案是精密运动平台设计的理想选择。

气浮平台分为气浮直线平台与气浮转台,由气浮导轨或气浮轴承导向,直驱电机驱动及光栅尺闭环反馈组成气浮平台。直驱运动不存在中间传动环节,提高平台的整体精度,运行速度平稳。负载惯量和系统带宽相对较大,有良好的动态特性。

基于空气轴承的基本原理,实现无摩擦和无振动的平滑移动。它具有运动精度高、清洁无污染等特点。同时还具有误差均化作用,来获得较高的导向精度。气浮导轨在测量设备、精密机械中得到了广泛的应用。气浮平台在气体润滑的表现上看,承载能力、气体流量均有超常规表现,特别是最关键的性能指标位移精度上,相对于传统导轨有着成数量级的明显优势,精密机械、测量仪器等领域使用气浮导轨是行业发展的必然趋势。


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