详细介绍
可编程多气体/多量程功能
Brooks® MultiFlo™ 气体数据库包含数千种天然气体测定结果,可用于建立修正函数
流量响应时间不足 1 秒,精度可达目标应用设定值的 1%
非常适用于各种气体
快速响应,哈氏合金传感器
拥有独立于工具通信并可轻松接入的诊断服务端口
多协议通信选件包括 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485 模拟接口
优势
MultiFlo™ 技术能够在不拆除管路中 MFC 的条件下设定新气体和满量程,从而大限度延长运行时间
MultiFlo™ 编程功能简单、易用;60 s 内即可完成新气体的选择操作
可大幅降低设备商和大型终端用户的流量控制器库存
得益于基于标准的高级计量系统和校准技术,产品拥有出色的工艺气体测量精度
耐腐蚀传感器拥有*的*稳定性,可确保良率和产能大化
对用户开放的服务端口简化了故障排除和诊断操作
各种橡胶密封件为各种应用提供了经济实惠的性能灵活性
多协议通信接口可集成至现有系统
BROOKS 质量流量控制器 SLA5853S2GAB2C2A1,
BROOKS 备件 SLA5853S2HAB3C2A1
BROOKS 气体流量控制器 SLA5860SB1DA0C2A1
BROOKS 转子流量计 1306BBK111G00,1306B O-Seal,
BROOKS 流量计 SLA5853S2NAB2C2A1
BROOKS 备件 5850E/B1A1B4B0
BROOKS 备件 SLAMF60S1PAA0K2A2
BROOKS 质量流量计 SLA5850SB1BC1C2A1
BROOKS 压力传感器 GFD01G4BSM
BROOKS 质量流量计 SLA5863S2GAA0C2A1,,
BROOKS 流量计 5850EC4BS44B2A
BROOKS 压力传感器 GFD30A4BSM
BROOKS 流量传感器 SLA5860P1HAA0C2A1
BROOKS CO2质量流量计 SLA5850S1BBC1C2A1
BROOKS 乙炔质量流量计 SLA5853S2NAB3C2A1
BROOKS 备件 SLA5853S2EDD3C2A1
BROOKS 备件 5850E/B1A1B2B0
BROOKS 质量流量控制器 GF125CXXC-0110001L-VXVO DX-0924AX-000
BROOKS 量流量计 SLA5853S2EAB3C2A1
BROOKS 备件 CMCAT1132BR