概述
便携式电阻测度仪是用来测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。
本仪器按照半导体材料电阻率的及国家标准测试方法有关规定设计。
它主要由电器测量部份(主机)及四探头组成,需要时可加配测试架。
为减小体积,本仪器用同一块数字表测量电流及阻率。样品测试电流由高精宽的恒流源提供,随时可进行校准,以确保电阻率测量的准确度。因此本仪器不仅可以用来分先材料也可以用来作产品检测。对1~100Ω•cm标准样片的测量瓿差不超过±3%,在此范围内达到国家标准一级机的水平。
测量范围:
可测量 电阻率:0.01~199.9Ω•cm。
可测方块电阻:0.1~1999Ω/口
当被测材料电阻率≥200Ω•cm数字表显示0.00。
(2)恒流源:
输出电流:DC 0.1mA~10mA分两档
10mA量程:0.1~1mA 连续可调
10mA量程:1mA ~10mA连续可调
恒流精度:各档均优于±0.1%
适合测量各种厚度的硅片
(3) 直流数字电压表
测量范围:0~199.9mv
灵敏度:100μv
准确度:0.2%(±2个字)
(4) 供电电源:
AC:220V ±10% 50/60HZ 功率8W
(5) 使用环境:
相对湿度≤80%
(6) 重量、体积
重量:2.2 公斤
体积:宽210×高100×深240(mm)
(7)KD探针头
压痕直径:30/50μm
间距:1.00mm
探针合力:8±1N
针材:TC
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