规格诸元表
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晶圆清洗机
藉由转换2组物镜而获得宽广的倍率,范围从 1 倍到 120 倍。使用上结合 8 段的变焦倍率后,使其应用从低倍率时宽广视野观测到小於 1um 的细微线宽量测,都有Z佳的倍率选择。
2.物镜-大视野与高解析 (n. a. 0.55 )
结合2种物镜后的应用范围更加宽广,从低倍率时大视野的观察到高倍率时的精密测量都能使用。
影像测量仪 产品信息
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