工艺流程：
1、预处理－反渗透－水箱－阳床－阴床－混合床－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－精密过滤器－用水对象
2、预处理－一级反渗透－加药机（PH调节）－中间水箱－第二级反渗透－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象
3、预处理－反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象
4、预处理－反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象为满足用户需要，达到符合标准的水质，尽可能地减少各级的污染，在工艺设计上，取达国家自来水标准的水为源水，再设有介质过滤器，活性碳过滤器，精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床系统等。
超纯水设备工作原理在树脂交换过程中，树脂上可交换离子全部被交换完了，树脂就不再有交换水中离子作用，我们称这种现象为“失效”。我们把树脂再生后获得再生的工作交换容量与该树脂全部工作交换容量比值，这种情况我们称之为树脂再生度。
超纯水设备运行过程中再生剂，再生浓度，流量，温度以及工艺操作，反洗情况和吸流床树脂的再生度均会影响树脂再生度。我们通常根据树脂再生度来判断交换床再生情况。
