进口高纯减压器
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高纯减压器简介：
高纯减压器单级减压器适用于非腐蚀性，腐蚀性气体。膜片和阀体的密封采用硬密封的设计，降低泄漏率，同时提高了安全性和使用寿命。
进口高纯减压器
结构特点 Features
316L 不锈钢母体
膜片式硬密封，泄漏率低
可采用面板安装和后座安装
压力表标准连接： 1/4” FSR(M)
可选：1/4” FSR (F)
内部电解抛光
高清洁的组装和包装将适用于高纯洁度的半导体产业
使用寿命长
通过氦气测试
材质 Materials
母体：316L
阀座：PCTFE
膜片：316L
上盖：316
功能特性 Functional Performance
流量：Cv=0.14
母体泄漏率：2x10 -8 atm cc/sec He
阀座泄漏率：4x10 -8 atm cc/sec He
设计验证压力：zui大额定压力的 150%
设计爆破压力：zui大额定压力的 400%
工作条件 Operating Conditions
zui大的入口压力：500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)
出口压力：0- 25 psi (1.7 bar) , 0-50 psi (3 bar),
0-100 psi (7 bar), 0-250 psi (17 bar),
0-500 psi (35 bar)
温度： -40℃~74℃(-40℉~165℉)
流道表面 Surface Finish
标准：Ra 20μin
可选：Ra 10μin
内部容积 Internal Volume
4.6 cc
