等离子光氧一体机的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使有毒有害物质转变成无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。随着大气污染的日益严重，我国对环保的要求也日益严格，对我国木器厂以及锻压液压设备加热后产生的既呛鼻又难闻的废气处理也更加严格，而等离子光氧催化一体机就是专为烟雾废气处理而生的。
等离子光氧一体机主要适用范围：牛皮纸浆、炼油、炼焦、石化、煤气、粪便处理、制药、农药、合成树酯、合成纤维、橡胶、氮肥、炼焦、粪便处理、肉类加工、水产加工、食品配料、香精、畜产加工、皮革、骨胶、油漆、溶剂、油墨印刷、垃圾处理、医药等行业。这些行业等离子光氧一体机都可以去除掉，那么单纯的光氧催化设备，低温等离子设备如果处理这些工况的异味能否达标呢？这些问题也要针对现场工况决定。总体来说，如果有深度较小的异味、烟尘等离子设备就可以处理掉；如果高深度的异味要靠光氧催化设备来处理；如果既有微尘又有高深度的异味只有等离子光氧一体机来处理掉。
等离子光氧一体机对于不同类气体的处理注意点：
A、可燃气体的处理
（1）可燃气体的排放，如果排放量较大，应尽可能选择人少的地方，注意周围禁止火，并备有相应的灭火器、砂
子和水。
（2）排放钢瓶中的可燃气体，工作人员应站在出气口的侧面进行操作，以防气体伤人。
（3）采用燃烧法处理时，应安装减压阀，控制可燃气的速度，尽量使气体慢慢放出，使之在燃烧装置内充分燃烧掉。
（1）将黏着在容器阀门上或使用器具上的粉末、石油类可燃性物质，去除干净后，方可进行助燃气的处理。
（2）严禁助燃气体和可燃气体在同一地方其附近进行处理，以防爆炸事故的发生。
（4）在处理助燃气体的周围，应无火源、无燃烧物和易爆物品。
D、惰性气体的处理
惰性气体虽然没有危险性，但大量惰性气体集聚，会使周围氧含量减少，从而使人窒息。
（1）在室外适当的地方排放。
（2）若钢瓶或仪器在室内，可接上排气导管，使其引到室外缓慢排放。
等离子技术对废气组成没有选择性，而且能量很高，几乎所有污染物分子都能从分子结构上被破坏，从而消除各种污染源排放的异味、臭味污染物，使有毒有害气体达到低毒化、没有毒化，保护人类生存环境。
