金属激光切割机激光波长 1064um
功 率 20W 30W
光束质量 ㎡<1.5
激光输出功率 10%-*连续可调
激光输出频率 20KHz-100KHz连续可调
平台移动精度 3um
重复精度 ±0.001mm
标记深度 ≤5mm
标记线速度≤7000mm/s
小线宽 0.02mm
划片规格 2”-6”
划片厚度 ≤0.8mm
划片速度 ≤600mm/s
平台行程 200mm×220mm
冷却方式 风冷
运行环境温度 15℃-35℃
电力需求 220V/单相/50Hz/<1200W
激光模块寿命 100000小时
应用范围
金属激光切割机
弗镭斯激光生产的晶圆激光划片机具有更强的通用性，使用短脉冲激光进行划片能够很好的将热影响控制在很小的区域内，目前广泛应用于GPP工艺的晶圆、四元LED晶圆等晶圆的划片。
