部分处理：当废气进入等离子光解一体机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离， 从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。
UV光氧部分处理：采用高能C波段光线强裂污染气体分子链，改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子无害物质，如水和二氧化碳等。O3强催化氧化剂进行废气催化氧化, 可有效地杀灭细菌，将有毒有害物质破坏且改变成为低分子无害物质。在C波段激光刺激催化剂涂层产生活性，强化催化氧化作用。在分解过程中产生高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。臭氧对有机物具有*的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有*的清除效果，*达到脱臭及杀灭菌的目的。
高效UV光氧等离子一体机广泛应用于喷漆厂除臭、橡胶厂除臭、塑料厂、油漆厂除臭、喷涂车间除臭、电子厂除臭、造纸厂除臭、电路板厂、包装厂等臭气净化场合。.
