HPC1100高压控制器
产品概述
- 产品名称：高压控制器
- 产品型号：HPC1100
- 品牌：LIGHTHOUSE美国莱特浩斯
- 采样流量：28．3L/min
- 粒径范围：0.1μm 或更大
- 流速：1.0 CFM
- 输出压力：接近大气压
- 输入压力：30-150 psi
- 尺寸：14.22 x 19.30 x 26.21 cm
设计采用了新技术， 在高压气体成分HPC1100高压控制器允许LIGHTHOUSE 0.1μm的粒子计数器对高压（30-150 psi）的惰性气体系统提供工艺气体污染的监测能力。
HPC 1100的不锈钢设计坚固耐用，可靠，几乎不需要日常维护和校准。在正常操作过程中，惰性气体可被回收采样过程中使用100
的供气。
产品特色
特征
优点
应用
- 可用于任何惰性气体
- 轻松设置
- 安装简单
- 前置流计
- 直观的用户控制
- 安静的操作
- 快速清除和清理
- VCR接头内部和外部
- 不锈钢结构
- 在正常操作过程中的零气体废物
- 近常压输出
- 低噪声
- 小尺寸
- 便于系统集成
- 2年保修的
- 较低的拥有成本
- 工艺鉴定
- 半导体制程监控
- 平板过程监控
- 过程趋势分析
主要技术参数及性能：
粒径范围
0.1μm 或更大
流速
1.0 CFM
输出压力
接近大气压
输入压力
30-150 psi
兼容气体
氮，氩气，氦气
运行噪音
<60 db
外壳
不锈钢
材质
316L 不锈钢
尺寸
5.61” (w) x 7.57” (h) x 10.32” (d) [14.22 x 19.30 x 26.21 cm]
重量
6 lbs (2.7 kg)
随机配件
采样管; VCR密封件; 尼龙螺帽；套圈
可选件
备用采样管; 14英寸不锈钢过滤器 (0.5μm, 2μm, 7μm, 15μm)
