高纯水的标准为:GB1146.1-89至GB1146.11-89[168],目前按高纯水的标准将电子级水分为五个级别:Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级和Ⅴ级,该标准是参照ASTM电子级标准而制定的。
高纯水的水质标准中所规定的各项指标的主要依据有:1、微电子工艺对水质的要求;2、制水工艺的水平;3、检测技术的现状。
在高纯水的生产过程中,水中的阴、阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换技术等去除;水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术去除;水中的细菌,目前国内多采用加药或紫外线灯照射或臭氧杀菌的方法去除;水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。在高纯水应用的领域中,水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性、阈值电压,导致低击穿,产生缺陷,还影响材料的使用寿命,因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。
天然水中溶解的气体主要有O2、CO2、SO2和少量的CH4、氡气、等,在高纯水的生产过程中,还必需去除这类的气体。为了有效的去除杂质,在生产高纯水的过程中,加入了一些化学杀菌剂,如甲醛、双氧水、次氯酸钠等。