本产品是一种用于半导体晶圆制造过程中对聚酰亚胺（PSPI)这一种新型工程高分子材料固化 的专用设备，烘箱温度可达450°c
性能特点：
♦真空度可达10 Pa
♦箱体内氧含量：≤20ppm，提供氧含量检测接口
♦曰本优易控触摸屏，升降温斜率控制
♦内腔采用耐腐蚀SUS316不锈钢材质制作
型号MODEL | SXYJ-1 | SXYJ-2 |
内箱尺寸（H*W*D) CM Interior dimensions | 20*20*40 | 30*30*60 |
温度范_ Temp.range | RT+20°C 〜450°C | |
温度波动度 Temp.constancy | 士 0.5°C | |
真空度 | lOpa | |
氧含量 | ≤20ppm | |
内箱材质 Interior material | SuS316 不锈钢 Stainless Steel Plate | |
外箱材质 Exterior material | 钢板静电喷涂表面处理Baked Painting Steel | |
保温材料 Insulatio material | 硅酸锦纤维棉 Aluminum silicate fiber cotton | |
保护装置 Safety devices | 声光报警器超温保护器Audible and visual alarm，Over Temp | |
功率（kva) | 9.0 | 12.0 |
电源 | AC380V±10%3φ 50HZ | |
*欢迎订制不同规格尺寸的非标准烘箱
