
为配合客户降低生产成本之所需,本公司特研发此体积小高产能的新一
代真空镀膜设备。其特点为︰高自动化、抽气速率快;新颖的转盘
设计大大的提升了真空镀膜设备的效能﹔单腔体运作可降低维修成本;
三溅射靶同时镀膜亦可令镀膜时间缩短
代真空镀膜设备。其特点为︰高自动化、抽气速率快;新颖的转盘
设计大大的提升了真空镀膜设备的效能﹔单腔体运作可降低维修成本;
三溅射靶同时镀膜亦可令镀膜时间缩短
系统规格
生产速度 | 一炉25 分钟可放256 制具 约 2265088 PCS〈0603〉/40 min 〈cycle〉 | |
换料方式 | 制具转盘整组更换 | |
高真空帮浦 | 高真空冷冻帮浦10 inch | |
粗真空帮浦 | 机械帮浦,抽气速率:1000L/min | |
真空工作室 | 不锈钢,附循环冷却水管路 | |
溅射靶源 | 5×22 inch 磁场环绕平面阴极×3 | |
真空计量 | 低真空计TC gauge 1.0E3~1.0E-3 Torr 高真空计Ion gauge 1.0E-3~ 1.0E-5 Torr | |
溅射电源 | 10kw 直流电浆电源供应器×3 | |
制程控制 | 触控屏幕操作之 全自动控制/手动 控制单元 | |
制程气体 | 氩气0~200sccm | |
工作压力 | 1.5E-1~1.0E-5 Torr |
