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技术参数
输入电源
等离子源
一个300W,13.5MHz的射频电源安装在移动柜内
(点击图片查看详细资料)
磁控溅射头
真空腔体
载样台
真空泵
薄膜测厚仪
外形尺寸
质保和质量认证
使用注意事项
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