该高温化学气相沉积系统的工作温度为300℃至1600℃，配备真空泵，气体混合装置。采用*的温度控制系统，高温精度，出色的气体流量精度，易于操作，出色的隔热效果和温度均匀性。 主要用于大学，科研机构和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。
技术参数：
| 产品名称 | 高温化学气相沉积系统 | |
| 产品型号 | PT-CVD-1700-60*300-F3 | |
| 加热部分 | 显示 | LED |
| 温度 | 1700℃ | |
| 工作温度 | ≤1600℃ | |
| 升温速率 | 建议: 0~15℃/min (max. 20℃/min) | |
| 加温温区 | 300mm | |
| 加热元件 | 硅钼棒 | |
| 热电偶 | B 型 | |
| 控温精度 | ±1℃ | |
| 炉管尺寸 | 60 x 900mm | |
| 刚玉管 | ||
| 温度控制 | PID自动控制 | |
| 升温速率 | 30段可编程 | |
| 电压 | 220V, 50 Hz, 单相 功率： 4KW | |
| 工作压力 | 0.02MPa | |
| 真空部分 | 真空泵总成 （旋转叶片泵+扩散泵） 包括KF25、KF50适配器、用于真空泵组的波纹管和带轮子的移动柜。 | 冷态极限真空6.67*10-3Pa。 |
| 真空测量 | 复合真空计。 | |
| 真空法兰 | 带阀和针的不锈钢真空法兰 | |
| 质量流量计（3条气体路线Ar、H2、CH4） | 流量范围 | (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM |
| 精确度 | ±1.5 % F.S. | |
| 响应时间 | ≦10sec | |
| 工作压力差范围 | 0.1~0.5MPa | |
| 耐压性 | 3MPa | |
| 工作环境温度 | 5~45℃ | |
| 输入电压信号 | 0 V ~ +5.00 V | |
| 输出电压信号 | 0 V ~ +5.00 V | |
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