KJ-T1200 CVD是一种管式炉，配备60mm直径氧化铝管、真空泵和四通道质量流量计+一个浮子流量计气体流动系统。它可以混合1-4种气体用于CVD或扩散。
技术参数：
| 模型 | KJ-T1200 | |
| 部分：标准件 | ||
| 管式炉 | 展示 | LED类型 |
| 限度温度 | 1200℃ | |
| 工作温度 | ≤1100℃ | |
| 升温速率 | 建议：0~10℃/min | |
| 温区 | 300mm + 300mm 双区 | |
| 加热元件 | 电阻丝 | |
| 热电偶 | K型 | |
| 温度控制精度 | ±1℃ () | |
| 管尺寸 | 60 / 52mmx 1000mm (OD/ID x L) | |
| 材质：石英管 | ||
| 温度控制 | 通过可控硅功率控制进行PID自动控制 | |
| 加热曲线 | 30 步可编程 | |
| 真空法兰 | 不锈钢真空法兰。 法兰的一端有 2 个带倒钩的针阀，装有机械压力表。  法兰的另一端有一个带倒钩针阀的 KF25 端口  | |
| 功率 | 220V，50 Hz，单相 6KW | |
| 真空泵 | 旋片真空泵 | 极限真空 10 -3 Torr。 管内的真空度约为 10 -1 Torr。 （RM温度和空管条件） 流量：2.6 L / S （泵照片仅供参考，实际外观取决于最终设计） 旋片真空泵将设计成带轮子的推车。带连接附件 包括数字真空计 3.8x10 -5 至 1125 Torr 测量范围 耐腐蚀，与气体类型无关 |
| 带液晶触摸屏控制器的定制质量流量计 （七星级品牌） | 一个浮子流量计 + 四个精密质量流量计： MFC 精度为：±1.5% FS MFC 1 用于氮气：气体流量范围为 0~100 sccm 氢气 MFC 2：气体流量范围为 0~100 sccm MFC 3 用于甲烷：气体流量范围 0~100 sccm 氩气 MFC 4： 气体流量范围 0~100 sccm 氧气 MFC 5： 气体流量范围 0~100 sccm FFC 1 氩气和氮气混合气体： 气体流量范围 0~100sccm 一种气体混合罐（仅适用于 5 MFC）安装在底壳上，5 个不锈钢针阀安装在底壳左侧，用于手动控制 5 种气体混合。 | |
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