1半导体/FPD检查金相显微镜GX-21PC 特点和应用方向
特点：
大行程移动采用8寸平台设计，平台面积：525mmX330mm，移动范围：210mmX210mm，可适用于对应尺寸的晶圆或FPD检测，也可用于小尺寸样品的阵列检测
明场/暗场/偏振光/透反射光/微分干涉
2半导体/FPD检查金相显微镜GX-21PC 产品参数
技术规格
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 |
观察方式 | 明场/暗场/偏光/DIC/透反射光 |
观察筒 | 30°铰链式三目观察筒，360°旋转，瞳距调节范围54-75mm，单边视度调节：±5屈光度 |
目镜 | 高眼点大视野平场目镜PL10X/22mm |
物镜 | 无限远长工作距金相明暗物镜5X/0.15 WD=10.80mm |
无限远长工作距金相明暗物镜10X/0.30 WD=12.20mm | |
无限远长工作距金相明暗物镜20X/0.45 WD=4.00mm | |
无限远长工作距金相明暗物镜50X/0.55 WD=7.90mm | |
无限远长工作距金相明暗物镜100X/0.80 WD=2.10mm(选配) | |
物镜转换器 | 5孔内定位转换器，带DIC插槽 |
总放大倍数 | 50X-1000X |
载物台 | 8英寸三层机械移动平台，低手位X、Y放心同轴调节；平台面积：525mmX330mm，移动范围：210mmX210mm；透反射用玻璃载物台 |
粗微调机构 | 粗微调同轴、粗调行程33mm，微调精度0.001mm,，带粗调机构上限位及松紧调节装置 |
反射照明系统 | 带可变视场光阑与孔径光阑，均可调中心；带滤色片插槽与偏光装置插槽；带斜照明切换拉杆。12V100W卤素灯，光强连续可调，带光亮设定按钮与复位按钮 |
透射照明系统 | 单颗大功率5W LED，白色，光强连续可调，带光亮设定按钮与复位按钮 |
偏光装置 | 进口反射偏振镜组，含起偏镜组，360度旋转式检偏镜插板 |
滤光片 | 干涉滤光片，蓝色（反射用）：≤480nm |
干涉滤光片，绿色（反射用）：520-570nm | |
干涉滤光片，红色（反射用）：630-750nm | |
干涉滤光片，色平衡片（白光）（反射用） |
成像参数
分辨率 | 2560 x 1920 |
传感器尺寸 | 2/3 |
像素尺寸 | 3.40μm x 3.40μm |
传感器有效影像区域 | 9.74mm(H) x 7.96mm |
光谱响应 | 380-650nm |
像素叠加 | 1 x 1, 2 x 2 |
曝光能力 | 0.203ms~104.899ms |
白平衡 | 手动白平衡/一次白平衡/区域白平衡 |
图片格式 | 日常图片格式 |
语言 | 各种语言可任意切换 |
操作系统 | 兼容win7/10 32/64bit |
数据传输模式 | USB3.0 |
功能 | 可对图像进行测量、增加比例尺，增加文字 |
3半导体/FPD检查金相显微镜GX-21PC 成套件
产品装箱单
序号 | 规格 | 单位 | 数量 | 备注 |
1 | 显微镜主机 | 台 | 1 |
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2 | 三目观察镜筒 | 只 | 1 |
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3 | 二维移动工作台 | 件 | 1 |
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4 | 目镜WF10X | 只 | 2 |
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5 | 物镜：5X.10X.20X.50X | 只 | 各1 |
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6 | 照明器 | 只 | 1 |
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7 | 摄像适配镜 | 只 | 1 |
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8 | 数字式摄像头500W | 套 | 1 | USB3.0 |
9 | 卤素灯室 | 只 | 1 |
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10 | 内六角调节扳手 | 只 | 1 |
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11 | 电源线 | 根 | 1 |
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12 | 产品装箱单 | 份 | 1 |
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13 | 随机文件 | 份 | 1 |
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选配件
专业金相评级分析软件、测量软件
物镜100X、带尺目镜10X/0.1mm
测微尺0.01mm
电脑、打印机
