为
高水质保障：能生产出电阻率高达 18MΩ・cm 以上，总有机碳（TOC）含量低于 5ppb，颗粒计数达到每毫升个位数甚至更低水平的超纯水，满足晶圆清洗对水质的**要求。
自动化程度高：配备**的 PLC 控制系统，可实时监测和控制水质、压力、流量、温度等参数，实现自动运行、自动调节、自动保护和故障报警，减少人工操作和维护成本。
稳定可靠运行：采用高品质的膜组件、泵、阀门等关键部件，经过严格的设计和测试，设备运行稳定可靠，能够长时间连续供应高质量的超纯水，确保晶圆清洗工艺的连续性。
灵活定制化：可根据不同的生产规模、水质要求和工艺需求，进行模块化设计和定制化配置，方便设备的安装、调试和扩展。
节能环保：采用节能型泵和优化的工艺流程，降低能耗；同时，EDI 技术的应用减少了酸碱废水的排放，符合环保要求。
