Teledyne API高纯度臭氧输送系统
Mini ODS是紧凑但完整的臭氧输送系统，能够为许多晶元处理应用提供浓度高达 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。该系统虽然使用紧凑型设计，却是一个完整的臭氧输送系统，包含：高浓度臭氧发生器、高浓度臭氧监测仪、基于微处理器的控制器和满足全部要求的调节器和气动装置。
Teledyne API高纯度臭氧输送系统Mini ODS能够拓展支持额外的独立流程臭氧发生器，这些流程可需求不同浓度和不同流量的臭氧。该仪器操作和维护简单，不需求消耗品或预防性维护。该系统也能与通常湿法工艺中需求的溶解臭氧监分析仪交互。为了更加**，该系统也能与TAPI的多通道臭氧泄露探测仪和臭氧破坏器子系统联锁。
- 设计紧凑
- 生产浓度超过21% w/w的臭氧
- 19"机架固定或放置在桌面
- 价格低，无消耗品
- 整合的方案包括:
- 高纯度臭氧发生器
- 高浓度臭氧分析仪
- 闭环伺服控制器
- 氧气质量流量控制器
- 氮气质量流量控制器
- 背压调节器
- 电气转移阀
- Teledyne API高纯度臭氧输送系统规格
Teledyne API高纯度臭氧输送系统应用
半导体
- 化学气相沉积 (CVD)
- 原子层沉积 (ALD)
- 氧化物生长
- 表面处理
- 颗粒清洁
- 光刻胶去除
- 灰化
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