HPC 1100高压控制器采用的新设计理念
并配以莱特豪斯0.1μm粒子计数器。
一起监控高压环境(30至150PSI)下的惯性
气体系统的工业气体污染。
Lighthouse HPC1100压缩气体控制器应用:
过程认证
半导体工艺监控
电镀过程监控
过程趋势分析
Lighthouse HPC1100压缩气体控制器优势:
正常运行期间惰性气体的零浪费
输出压力接近大气压。
低噪声
小尺寸
简单的系统集成
2年保修
国际销售和服务支持
HPC1100高压控制器。可移植文档格式文件的扩展名（portable document format的缩写）
Lighthouse HPC1100压缩气体控制器特点:
灵敏度为0.1μm、流量为1立方英尺(28.3升/分钟)的尘埃粒子计数器
可用于任何惰性气体。
易于设置
简单安装
前置流量计
直观的用户控制
安静操作
快速吹扫和清洁
和外部VCR连接器。
不锈钢结构
Lighthouse HPC1100压缩气体控制器规格:
气体颗粒尺寸范围:0.1μm或更大
流量范围:1立方英尺(28.3升/分钟)
输出压力:接近大气压
输入压力:30-150磅/平方英寸
兼容气体:氮气、氩气、氦气、CDA
工作噪音水平:< 60db
外壳:不锈钢
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