详细介绍
,在某些材料的表面上,只要镀上一层薄膜,就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。真空镀膜一般有蒸发镀膜和溅射镀膜。
多弧离子镀作为物理气相沉积技术的一个分支,是在真空蒸镀和真空溅射的基础上发展起来的一门新型涂层制备技术,也称为真空弧光蒸镀法,它把真空电弧放电用于电弧蒸发源。
由于多弧离子镀技术具有沉积速率高、涂层附着力好、涂层致密、操作方便等特点,因此在材料表面改性领域得到了广泛应用。
真空镀膜技术已在国民经济各个领域得到应用,如航空、航天、电子、信息、机械、石油、化工、环保、军事等领域。