详细摘要： 软着陆闭管扩散炉设备概述闭管磷扩散，带有工艺废气冷却定向回收装置，工艺废气集中从尾部排出；各种工艺气体可分开送入石英管内，工艺气体（三氯氧磷）可采用喷淋式方式引...