^名称

^双通道

^三通道

^四通道

^五通道

^{质量流量控制器}

^{工作温度：5~45ºC
大压力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
线性:±（0.5-1.5）%F.S}

^{重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用}

^{工作温度：5~45 ºC
大压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线性:±（0.5-1.5）%F.S
重复精度:±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用}

^{工作温度:5~45 ºC
大压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线性:±（0.5-1.5）%F.S.}

^{重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用}

^{工作温度: 5~45 ºC
大压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线性:±（0.5-1.5）%F.S.
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客户要求定制}

^输入电源

        ^{AC 220V/50Hz单相}

^功率

        ^23W

^PLC触摸屏

^{·  各通道的气路设定和查看都集中在一个7"的触摸屏上} 

^{· RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制}

^{机械压力表}

^{·  有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接}

^{·   量程:-0.1~0.15 MPa} 

^针阀

^{316 不锈钢}

^通气管道

^{·  内部连接管道为Φ不锈钢管} 

^{·  外部通气管道为Φ聚四氟管}

^混气罐

^Φ80X120mm

^{截止阀及配件}

^{·316不锈钢针阀} 

 ^{Φ6mm 不锈钢管}

^外形尺寸

 ^{600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)}

^质量认证

^CE认证

^质保期

^{一年质保期，终身维护}