半导体IC晶圆专业烘箱

       怡和兴研发的半导体晶圆烤箱，可执行晶圆级预烧和磁性退火等前道半导体功能， 以及组装/晶圆级包封功能（例如黏晶固化、稳定性和预烧测试以及热冲击），以满足其退火、干燥及热分解需求，还满足在大规模半导体封装和组装生产中对洁净工艺、低氧化、粘合剂和聚合物的高效固化等要求。

产品特点：

1、利用强制通风作用，烘箱内设有风道，温度均匀度1.5%，物料干燥均匀。

2、采用进口数字型智能温度控制器，定值恒温控制模式，PID自动演算，控温精度±0.2℃，带传感器断线报警功能，超温抑制，超调功能，控温准，过冲低，带超温警报保护功能，确保产品运行安全。

3、双流量计节氮系统，双延时充氮控制，无氧、低氧环境下节省氮气消耗量。

4、箱门于箱体结合处采用耐高温硅橡胶条密封迫紧，保温性能好，抗老化，环保无污染。箱门把手采用提拉式锌合金机械把手，机械强度高，耐磨损，开关门灵活。

5、采用LED数字型时间计时器，计时0~9999H/M/S。设定温度→设定保温时间→时间到结束END提示-自动示切断加热-警报完成指示。

半导体行业烤箱基本配置：

1. 温度范围：RT～180℃；

2. 内箱尺寸：可定制

3. 箱体数:2个,上下布置，可定做；

4. 内胆材质：SUS321镜面不锈钢，无缝焊接保护被加工件不受任何污染；

5. 升温时间（空载）：1.5h；

6. 加热器：特制无尘加热器；

7. 超温保护器，马达过载保护器，蜂鸣器，故障指示灯，无熔丝开关。