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晶圆真空固化炉

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更新时间：2021-09-10 17:10:55浏览次数：280次

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苏州富屹坤电子设备有限公司

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产品简介

产品用途：本产品是一种用于半导体晶圆制造过程中对聚酰亚胺（PSPI)这一种新型工程高分子材料固化的专用设备

详细介绍

产品用途：
本产品是一种用于半导体晶圆制造过程中对聚酰亚胺（PSPI)这一种新型工程高分子材料固化的专用设备，烘箱温度可达450°c
性能特点：
♦真空度可达10 Pa
♦箱体内氧含量：≤20ppm，提供氧含量检测接口
♦曰本优易控触摸屏，升降温斜率控制

♦内腔采用耐腐蚀SUS316不锈钢材质制作

型号MODEL	SXYJ-1	SXYJ-2
内箱尺寸（HWD) CM Interior dimensions	202040	303060
温度范_ Temp.range	RT+20°C 〜450°C
温度波动度 Temp.constancy	士 0.5°C
真空度 vacuum	lOpa
氧含量 oxygen content	≤20ppm
内箱材质 Interior material	SuS316 不锈钢 Stainless Steel Plate
外箱材质 Exterior material	钢板静电喷涂表面处理Baked Painting Steel
保温材料 Insulatio material	硅酸锦纤维棉 Aluminum silicate fiber cotton
保护装置 Safety devices	声光报警器超温保护器Audible and visual alarm，Over Temp
功率（kva)	9.0	12.0
电源 Power	AC380V±10%3φ 50HZ