高精度超精密激光干涉仪 返回列表页

产品简介

SJ6000高精度超精密激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是高精度、高灵敏度的测量仪器。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

产品配置

SJ6000高精度超精密激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

主要镜组图

其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。

产品功能

（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；

（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

（6）支持手动或自动进行环境补偿。

测量软件特点

（1）友好的人机界面；

（2）丰富的应用功能模块；

（3）向导式的操作流程；

（4）简洁化的记录管理；

（5）支持中文、英文和俄文界面；

（6）支持企业专属模板定制。

部分技术规格

平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组

平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可

短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组

长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组

直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量

恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。