货号 | CV-3200S4 | CV-3200H4 | CV-3200W4 | CV-3200SB | CV-3200H8 | CV-3200W8 |
CV-4500S4 | CV-4500H4 | CV-4500W4 | CV-4500SB | CV-4500H8 | CV-4500W8 |
测量范围 | X轴 | 100MM | 200MM |
Z1轴（检出器） | 60mm(水平位置±30mm) |
Z2轴（立柱）移动范围 | 300mm | 500mm | 300mm | 500mm |
Z1轴 （检出器） | 光栅尺类型 | 弧形 |
分辨力 | CV-3200系列；0.04μm，CV-4500系列；0.02μm |
测针上/下运作 | 弧形移动 |
测量方向 | 向前/向后 |
测针方向 | CV-3200系列：垂直方向（向上/向下单独测量） CV-4500系列：垂直方向（向上/向下根据配重调整） |
测力 | CV-3200系列：30mN（上下可连续测量） CV-4500系列：10，20，30，40,50mN（根据软件转换） |
跟踪角度 | 向上：77°，向下：83°（根据表面粗糙度，使用标准单切面测针*1） |
驱动部 | 长度基准 | X轴 | 激光全息光栅尺 |
Z2轴（立柱） | ABS光栅尺 |
分辨力 | X轴 | 0.05μm |
Z2轴（立柱） | 1μm |
驱动速度 | X轴 | 0-80mm/s 外加手动 |
Z2轴（立柱） | 0-30mm/s 外加手动 |
测量速度 | X轴 | 0.02-5mm/s |
直线度*2 | X轴 | 0.8μm/100mm | 2μm/200mm |
倾角范围 | X轴） | ±45° |
精度 （20℃） | CV-3200系列 | X轴 | ±（0.8+0.01L）μm L=驱动长度（mm） 宽范围：1.8μm/100mm 窄范围：1.05μm/25mm | ±（0.8+0.02L）μm L=驱动长度（mm） 宽范围：1.8μm/200mm 窄范围：1.3μm/25mm |
Z1轴 （检出器） | ±（1.6+（2H）/100）μm H=水平位置上的测量高度（mm） |
CV-4500系列 | X轴 | ±（0.8+0.01L）μm L=驱动长度（mm） 宽范围：1.8μm/100mm 窄范围：1.05μm/25mm | ±（0.8+0.02L）μm L=驱动长度（mm） 宽范围：1.8μm/200mm 窄范围：1.3μm/25mm |
Z1轴（检出器） | ±（0.8+（2H）/100）μm H=水平位置上的测量高度（mm） |
外形 尺寸 | 主机*3 | | 756*482*966mm | 756*482*1166mm | 1156*482*1176mm | 766*482*966mm | 766*482*1166mm | 1166*482*1176mm |
重量 | 主机 | | 140kg | 150kg | 220kg | 140kg | 150kg | 220kg |
