详细介绍
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KSZY-D10扩散炉恒温槽5大特点如下:
◆采用高精度动态恒温控制技术和SMT装配技术,*恒温波动度达±0.05℃,专门为半导体扩散炉配套。
◆ 提供单个源瓶、两个源瓶、和四个源瓶的结构形式,适合不同的应用需求。
◆ 将源瓶与水介质*隔离的铁氟龙隔离套,将任何泄漏事故引起的危险降低到zui低程度。
◆ 采用全封闭磁力泵循环搅拌,温场均匀,*泄漏。通过将传感器与循环泵液流的一体化设计,大大提高控温精度和温场均匀性。
◆ 液槽内胆、瓶源隔离套、电热器和蒸发器等可能与工作介质接触的部件采用不锈钢材料,其中瓶源隔离套内壁经铁氟龙处理,专门解决扩散炉应用问题。
KSZY-D10扩散炉恒温槽技术参数:
型号 | |||
温度范围(℃) | +5~60(环境温度≤40℃)、+15~+40(环境温度≤60℃) | ||
温度波动(±K) | ±0.05~0.1(环境温度≤40℃)、±0.1~0.2(环境温度≤60℃) | ||
显示分辨(℃) | 0.1 | ||
加热功率(W) | 600 | 600 | 600/1000 |
制冷量(W) | 250 | 300 | 350 |
内胆尺寸(mm) | 240*145D*220H(-S12) | 240W*120D*195H(-D10) | 240W*240D*195H(-Q10) |
源瓶尺寸(mm) | 100D*148H(-X10) 120D*168H(-X12) 160D*198H(-X16) | ||
源瓶隔离套 | 1个/不锈钢,内壁防腐处理 | 2个/不锈钢,内壁防腐处理 | 4个/不锈钢,内壁防腐处理 |
外形尺寸(mm) | 300W*475D*300H(-S12) | 300W*450D*275H(-D10) | 375W*570D*300H(-Q10)345W*615D*300H(-Q12) |
压缩机(W) | 150 | ||
制冷剂 | R134 a | ||
内胆材料 | 304不锈钢,提供316L不锈钢或钛材的定制 | ||
外壳材料 | 优质冷轧钢板静电喷涂 | ||
工作方式 | 连续 | ||
辅助功能 | 数显温度校正,传感器异常保护和报警,高温保护和低温报警,停电恢复,防干烧 | ||
电源 | 220V/50Hz |
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