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半导体装备高精度光测温控温-高精度测温模块

来源:合肥智测电子有限公司   2023年07月03日 17:27   211

半导体装备高精度光测温控温-高精度测温模块

半导体是靠电子和空穴的移动导电。未掺杂的半导体叫本征半导体,一般说来导电性远不如掺过杂的半导体,所以一般使用的都是掺杂半导体。掺入的杂质电离出的电子和空穴增强了半导体导电性,其电离率和温度密切相关,所以温度会影响半导体材料的电阻率。
对于掺杂半导体:温度很低时,本征激发忽略,主要由杂质电离提供载流子,它随温度升高而增加;散射主要由电离杂质决定,迁移率随温度升高增大,所以电阻率下降。
温度继续升高,杂质全部电离,本征激发还不***时,载流子基本不变,晶格振动是主要影响因素,迁移率随温度升高而降低,所以电阻率随温度升高而增大。
温度继续升高到本征激发快速增加时,本征激发称为主要影响因素,表现出同本证半导体相同的特征。因此未解决这个问题,智测电子发布了一款针对半导体装备高精度光测温控温-高精度测温模块,避免以上温度带来的问题。

合肥智测电子目前已经建成软件、硬件研发实验室,温度传感器组装和测试生产线,拥有完善的高精度温度校准能力。

致力于泛半导体行业**传感器的研发和制造,主要产品包括半导体设备用测温传感器(精度达:0.001°C) 、芯片制造制程实时测温和监控系统等。产品应用覆盖前道设备、后道封测设备、检测设备以及LED和面板行业应用。产品用户包含国内半导体设备商和芯片制造厂等。

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