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真空区域划分

来源：佛山市东山真空设备有限公司 2024年04月12日 07:19 332

真空区域划分：

真空区域	压强范围
真空区域	托（Torr）	帕（Pa）
低真空	760-10	101325-1333
中真空	10-10-3	1333-1.33×10-1
高真空	10-3 -10-8	1.33×10-1-10-6
超高真空	10-8-10-12	10-6-10-10
*真空	＜10-12	＜10-10

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