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半导体工艺设备机
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2023-06-26 09:41:01
829
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半导体工艺设备机1、产品用途Cluster集群式半导体工艺系统,可集成PVD/PECVD/Etch/PlasmaClean/Annealing等工艺模块。稳定可靠的高精度真空机械手臂,使基片在各腔室之间的高效传输。适用于工艺实验研究、批量器件的
图片来源:
https://www.foodjx.com/chanpin/5563172.html
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