当前位置：郑州科佳电炉有限公司>>化学气相沉积系统(CVD)>>低真空CVD系统>> KJ-T1600-CVDCVD系统
| 产品名称 | CVD系统 |
| 产品型号 | KJ-T1600-CVD |
| 部分： 定制坩埚炉（蒸发系统） | |
| 使用温度 | 超过500℃ |
| 工作区尺寸 | Φ150 x H320mm（不锈钢内胆的有效尺寸） |
| 坩埚 | 310S不锈钢，形式及具体要求与客户确认 |
| 加热元件 | 电阻丝 |
| 升温速率 | 0-20°C/min |
| 漏率 | 20Pa/min |
| 第二部分：定制小管式炉（混气系统） | |
| 使用温度 | 超过500℃ |
| 工作区尺寸 | Φ150 x H200mm（不锈钢内胆尺寸） |
| 混气罐 | 310S 不锈钢 |
| 加热元件 | 电阻丝 |
| 漏率 | 20Pa/min |
| 第三部分 1600度管式炉（反应器） | |
| 温度 | 1600℃ |
| 长期工作温度 | 1500℃ |
| 炉管尺寸 | OD100/ID90,加热区300mm |
| 炉管材质 | 高纯氧化铝管 |
| 加热元件 | 硅钼棒 |
| 漏率 | 20Pa/min |
| 真空度 | 抽真空度到-7*10-3Pa 压力范围不超过0.02MPa |
| 更多参数可根据需求定制 | |
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