当前位置：郑州科佳电炉有限公司>>化学气相沉积系统(CVD)>>低真空CVD系统>> KJ-T1600 -3M3通道CVD设备
| 产品名称 | 3通道CVD设备 | |
| 型号 | KJ-T1600 -3M | |
| 管式炉部分 | 显示 | 液晶触摸屏 |
| 温度 | 1600℃ | |
| 工作温度 | ≤1500℃ | |
| 升温速率 | 0~10℃/min | |
| 温区 | 300mm | |
| 加热元件 | MoSi2 | |
| 热电偶 | B型 | |
| 温度控制精度 | ±1℃ | |
| 炉管尺寸 | 80x1000mm | |
| 材质：氧化铝管 | ||
| 塞砖 | 包括两个纤维陶瓷块，用于阻挡来自管内的热辐射（陶瓷块必须在加热前插入炉腔）。 | |
| 温度控制 | PID自动控制 | |
| 真空法兰 | 带阀门的不锈钢真空法兰 | |
| 电源 | 220V, 50 Hz, 单相6KW | |
| 质量流量计 （液晶触摸屏） | 三台精密质量流量计： MFC 1：气体流量范围0~100 sccm MFC 2：气体流量范围0~200 sccm MFC 3：气体流量范围0~200 sccm （气体流量范围可根据您的要求） 底壳安装1个气体混合罐，底壳左侧安装3个不锈钢针阀，手动控制3种气体混合 | |
| 更多参数可按需定制 | ||
1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障，均予以免费维修。保修期满后，仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障的，我公司将尽快做出处理方案，确保设备正常运行。
3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
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5、本公司可提供运输服务，包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全（用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等）。
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