当前位置：郑州科佳电炉有限公司>>化学气相沉积系统(CVD)>>高真空CVD系统>> KJ-T1200-S4401200度CVD设备
| 产品名称 | 1200度CVD设备 | |
| 型号 | KJ-T1200 | |
| 部分：标准件 | ||
| Tube Furnace | 显示 | 7”液晶触摸屏 |
| 温度 | 1200℃ | |
| 工作温度 | ≤1100℃ | |
| 升温速率 | 0~10℃/min | |
| 温区长度 | 440mm | |
| 加热元件 | 钼电阻丝 | |
| 热电偶 | K型 | |
| 温度控制精度 | ±1℃ | |
| 炉管 | 100 x 1000mm (OD x minimum L) | |
| 材质：石英管 | ||
| 温度控制 | 通过可控硅功率控制进行PID自动控制 | |
| 加热曲线 | 30 步可编程 | |
| 真空法兰 | 不锈钢真空法兰。 法兰的一端有 1 个带刺针阀，安装有机械压力表。 法兰的另一端有一个带倒钩针阀的 KF25 端口 | |
| 功率 | 220V, 50 Hz, 单相. 4KW | |
| 真空泵 | 旋片真空泵 | 极限真空 10-3 托。 管内的真空度约为 10-1 Torr。 （RM温度和空管条件） 流量：2L/S 旋片真空泵将被设计成带轮子的推车。 带连接附件 包括数字真空计 |
| 质量流量计 带液晶触摸屏控制器 | 一个浮子流量计+五个精密质量流量计： MFC 精度为：±1.5% F.S. MFC 1 用于氮气：气体流量范围为 0~100 sccm 氢气用 MFC 2：气体流量范围 0~200 sccm MFC 3 for methan : 气体流量范围为 0~300 sccm 氩气用 MFC 4：气体流量范围 0~400 sccm 氧气用 MFC 5：气体流量范围 0~500 sccm 一个气体混合罐（仅适用于5 MFC）安装在底壳上，4个不锈钢针阀安装在底壳左侧，用于手动控制4种气体混合。 | |
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