当前位置：郑州科佳电炉有限公司>>化学气相沉积系统(CVD)>>等离子增强CVD系统(PECVD)>> KJ-T1200-PEPECVD系统
| 产品名称 | PECVD系统 |
| 产品型号 | KJ-T1200-PE |
| 外壳 | 不锈钢 |
| 内衬 | 两层氧化铝纤维 |
| 加热元件 | 电阻丝 |
| 电源供应 | AC 208-240V，单相，50/60 Hz |
| 温度 | 1200°C (2 hour) |
| 工作温度 | 1100 °C |
| 温度均匀 | ±1°C |
| 加热和冷却速率 | ≤15 °C/S |
| 炉管尺寸 | Φ200×1400mm |
| 管材 | 优质石英管 |
| 加热区大小 | Φ250×300mm |
| 恒定温度， 区域长度 | 180mm |
| 密封 | 法兰 |
| 功率 | 8KW |
| 温度控制 | 30 个可编程段，用于精确控制加热速率、冷却速率和停留时间。 内置 PID 自动调谐功能，具有过热和热电偶断路保护。 过温保护和警报允许在没有服务人员的情况下进行操作。 +/- 1 ºC 温度精度。 |
| 准确 | ±1°C |
| 总重量 | 100Kg |
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