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日本AMAYA天谷制作所株式会社半导体单晶圆器A200V 详细摘要: 日本AMAYA天谷制作所株式会社半导体单晶圆器A200V采用面朝下法的高性能单晶圆常压CVD装置A200V薄膜厚度均匀度在±2%以内抑制粒子生成紧...
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